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經過了一晚上的休息,隔天一早,林天就迫不及待地親自前往龍芯國際操刀光掩膜版的生產製作。
陳星與曲程沒有急著離開魔都,而是共同前去觀摩。
他們都想看看,林天到底是不是那麼全能。
龍芯國際實驗室內,已經聚集了大批抱著學習態度,前來觀看的光刻工程師。
麵對數十位光刻工程師組成的圍觀學習人群,林天也沒有半點怯場,眼神平靜且專注,與前一天吊兒郎當的樣子判若兩人,輕車熟路地開始了光掩膜版的初步製作。
光掩膜版的製作流程與芯片生產同理,同樣要經過圖形製作與轉換、曝光、顯影、蝕刻、脫模、清洗、缺陷檢查、缺陷修補、出貨清洗、貼膜十個主要步驟,但又與芯片生產不同。
芯片生產,光刻機曝光,而光掩膜版可不能依靠光刻機曝光,而是需要用到激光/電子束直寫方式對bnkask(光掩膜版材料)進行曝光。
當正性光刻膠被曝光後,化學結構發生變化,產生光酸,通過顯影液作用,被曝光的部分光刻膠溶解,而負性光刻膠被曝光部分結構交聯,生成不易溶穩定化學結構,再通過顯影液作用,曝光部分得以保留。
正所謂!
行家一出手,便知有沒有!
林天前麵步驟完全正確,沒有半點外行的影子,而且過程行雲流水,絲毫沒有半點拖遝,像是一位經曆過上萬次光掩膜版製作的老手,一切都水到渠成。
這也讓高永明、唐鑫宇,以及一眾圍觀的光刻工程師們打心底佩服,懂光刻機,懂掩膜版,這簡直就是全能天才啊!
在等待第一次流片的蝕刻空隙,龍芯國際的副首席工程師唐鑫宇搓了搓手,再也忍不住請教了:“打擾一下林工,駐波效應你有什麼好辦法解決嗎?”
駐波效應,在光刻過程中,會有一部分光被反射回來,這個反射的光和原來的入射光頻率相同,會相互乾涉,導致光阻層中光強度的分布不均,呈現出交替的亮暗區域,導致流片失敗。
如何有效削減駐波效應,一直是他們頭疼的問題。
林天移開鎖定在設備上的目光,淡淡說道:“使用tarc,barc等抗反射層材料,或者進行加熱烘烤,用高溫促進光敏劑的擴散,一定程度上彌補了光強分布不均的問題,在顯影過程中可以得到更均勻的圖案剖麵。”
聲音不大,卻傳遍實驗室。
龍芯國際的工程師沒有遲疑,立馬掏出記事本記錄。
彆看這位“林工”年輕,他在光刻領域的成就與造詣,早已經遠超在場所有人。
然而。
就在這時。
趕了最近一班飛機,連夜飛回來的馮承銘開口道:“如果用氧化鉻做為抗反射層,也能消除大部分的駐波效應?”
“嗯。”
林天點了點頭,脫口而出道:“用氧化鉻做為抗反射層,厚度20納米,可以有效解決駐波效應。”
馮承銘:“為什麼是20納米?”
“20納米的厚度,已經可以解決大部分駐波效應,21納米,用不上,19納米不夠用。”
林天淡淡回答道。
兩人的一問一答,讓默默觀看的陳星驚歎,紅色品質人才果然有點變態啊!
舌戰群儒,有問必答。
“剛才說話的那個老頭,就是龍芯國際的光刻首席。”曲程壓低了幾分音量介紹道。
“原來是他。”
陳星忍不住笑了笑,這位老爺子可太傳奇了。
吹個牛逼,把一群院士都唬住,如果能證實可以利用多重曝光技術實現14納米芯片,那他吹的牛也算實現了。
“製造光掩膜版的時間比較漫長,單次流片的時間都要1到3天,我建議陳總還是不要等了,公司可不能沒有你。”
曲程提了個醒道。
單次要1到3天,經過林天推算,14納米芯片掩膜版,一共要經曆50次左右流片,才能最終進行封裝使用。
最快也要50天時間,這時間還真是緊迫啊。
雙十一是趕不上了,陳星隻能寄托於雙十二能見到14納米輕舟處理器芯片的樣品。
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哪怕隻有一枚,也能組裝出一台樣板機,方便他後續召開新旗艦手機發布會。
目睹完林天實力,再次認識到紅色品質人才變態程度後,陳星也聽從曲程的提議道:
“嗯,既然流片時間這麼漫長,那我今晚就準備先回深城了,曲老要一起嗎?”
“不了。”
曲程搖了搖頭,目光瞥向不遠處的高永明道:“芯片設計有高首席和白衍,還有那群老家夥,我就在這裡替你看著吧,免得高永明那小子挖伱牆角。”
高永明:“……”
這句話音量提高了不少,清晰地落入高永明耳中。
挖牆腳?
他是這樣的人嗎?
雖然…確實…嗯…有億點點想挖,但曲程說得也太直白了吧,他不要麵子的啊?
高永明眼角抽搐了兩下,輕咳兩聲保證道:“放心吧陳總,我不是那樣的人。”
“不信。”
曲程淡淡地瞥了他一眼。
林天展現出的超強水平,連他都心動了,想挖去龍科院,你高永明能抗住誘惑?
裝!
你小子還挺能裝!
高永明老臉一紅,也沒繼續狡辯,而是埋怨道:“曲老你就彆挑撥離間了,我與陳總可是一見如故,要不是不想占他便宜,我都想和他桃園結拜了。”
“嗬,反正你彆動歪心思。”