……
一小時後。
真空計示數達到52e5帕,升溫程序也進入第二階段,一切正常。
十二分鐘後。
溫度示數達到400攝氏度,膜厚儀顯示的實時蒸鍍速率,在001至001埃每秒之間波動,膜厚顯示仍為000埃。
三分鐘後。
溫度示數繼續增加,直至480攝氏度左右,蒸鍍速率開始在000至003埃每秒之間波動。
當溫度達到520攝氏度後,蒸鍍速率維持在020至030埃每秒。
許秋先開啟樣品台旋轉,在等待了約十秒鐘後,同時打開樣品擋板並將膜厚儀的膜厚計數器歸零。
鈣要蒸鍍10納米的厚度,也就是100埃。
待膜厚儀示數達到100埃時,許秋迅速關閉樣品擋板。
隨後,他將束源爐升溫數控裝置關閉,讓束源爐自然降溫。
最後,將膜厚儀的參數改為鋁的參數。
半小時後。
束源爐的溫度降低至77攝氏度。
許秋關閉鈣的束源爐擋板,打開電流加熱裝置。
這個加熱裝置很簡單,就是把電源、鎢簍、電位器(類似於滑動變阻器)、保險絲、電流計連在一起,通過調節電位器,便可以改變電路中的電流大小。
許秋緩慢扭動電位器的旋鈕,使電流計示數從0逐漸增加至18安培。
當電流達到16安培時,膜厚儀上蒸鍍速率開始有了示數。
電流達到18安培後,許秋等待了幾秒,然後同時打開樣品擋板並清零膜厚儀的膜厚計數器。
蒸鍍速率則先是從02、03迅速提升至30,隨後迅速回落至18,之後緩緩下降至17,16埃每秒……
電流計的示數也會隨著時間變化,忽上忽下。
每當其相較於18的偏離值超過1時,許秋就將其調至18。
鋁的厚度要求是100納米,也就是1000埃。
待膜厚儀示數達到1000埃時,許秋迅速按下樣品擋板。
然後緩緩扭動電位器,將電流歸零。
接著關閉超真空擋板閥,停止分子泵。
等待十分鐘後,分子泵轉速從27000r降至0,關閉其開關。
最後,關閉機械泵,關閉總控台。
…………
“終於結束啦!”許秋長籲了一口氣,感慨道。
“這麼多操作,居然零失誤,厲害呀!”陳婉清豎起了大拇指。
“這都是學姐教的好。”許秋道。
“行啦,彆謙虛了,你的科研天賦我心裡有數呢。
想想我當初學蒸鍍,可是沒少讓魏老師頭疼,不是忘記開空氣泵,就是忘開擋板,甚至還有一次忘記放基片了。”陳婉清道。
聽到最後一句,許秋沒忍住笑了出來,然後看到學姐睜著大眼睛瞪著他,他趕緊把笑容收斂住,麵色嚴肅的向手套箱走去。
他進入手套箱,旋開艙門上下的旋鈕,開始拉艙門。
咦,艙門怎麼拉不下來?
琢磨了一會兒,許秋懂了,因為蒸鍍結束後,艙體內部還是真空狀態。
於是他轉頭看學姐,可她似乎並沒有主動解答的意思,還是瞪著他。
“這麼記仇啊。”許秋心想。
他隻好問道“學姐,這個怎麼弄?”
陳婉清指了指手套箱側麵,最後還是告訴了許秋
“那邊有一個接通氮氣瓶的閥門,可以往蒸鍍艙內充氮氣。”
許秋走過去,果然發現一個閥門。
他輕輕旋開閥門,“嘶嘶”的氣流聲傳來。
10秒後。
20秒後。
30秒後。
沒什麼動靜啊。
“學姐,什麼時候停下來呢?”許秋忍不住問道。
“繼續放氣。”陳婉清麵無表情道。
“哦。”
40秒後。
50秒後。
60秒後,正當許秋打算再次發問時。
“砰!”