華芯國際當然沒有拒絕的理由。
後續幾個人又去研究室看了光刻機,因為光刻機本身在無菌室裡,所以他們隻是隔著透明玻璃往裡看。
也看不出怎麼個所以然。
梁總盯著看了好一會兒,實在是憋不住心裡的疑惑:“李總,我問一些問題,您不要覺得有冒犯,也不是我不信任您……”
“不必如此,”李顏笑道,“交流而已,請講。”
“這台是浸潤式duv?”
“是。”
“你所說的自己設計的光刻機,也是浸潤式?”
“是,附帶成本更高昂一點的浸潤係統,優化要等後續,並且大概需要一段時間的測試。”
“你意思是,你沒有進行測試?”
“我都沒做出來,沒法測試。手裡隻有這台東西,而且超純水什麼的,我這邊也不好搞,華芯國際有現成的,我才說讓你們測試。”
梁總眉頭緊緊皺起,“那你怎麼,就覺得自己的想法可行?”
“我在腦子裡跟電腦裡都模擬過了,妥。雖然我的解法跟阿斯瑪的做法不一定一致——我也說了,考慮到當前華夏的工業生產水平,相比起光刻機,我目前為了先做出來的方案一,更像是‘光刻房’。浸潤係統的成本不是量產級彆,我還需要根據實際生產的情況進行優化。”
……嘶,梁總匝巴嘴,心想姑且當李顏說的是真的,便繼續問道:
“分辨率跟套刻精度呢?”
“跟阿斯瑪的一樣,193的波長,ArFi光刻機,分辨率38nm,得益於浸潤式的提升,最小製程7nm。”
梁總心裡一邊聽一邊狂喊“不可能”,喊得筋疲力儘。
李顏突然一拍腦袋,補充道,“當然,目前套刻精度受製於製作工藝精度,實際用起來,想要通過多重曝光達到7nm製程,良品率應該不太妙。隻能算是理論上沒問題,實際應用的話,應該還是製程28nm的芯片為主。”
“你說的要都是真的,你就是華夏這個行業的救世主。”範總用誇獎的方式把梁總心裡的不可能喊了出來,“完完全全就是從無到有帶領我國芯片產業往上跨了幾個台階!不可思議!”
梁總繼續問,“掩模板、晶圓、光源等模組的定位與運作,你竟然能用手拆了之後複原,並且不影響他們的精度?”
“梁總,要是光刻機的精度取決於安裝時手抖與否,那也太低級了。就算是全機械流水線安裝,大型器械的精度難道就能匹配光刻機的零件精度嗎?”
“那……”
“他們肯定都有互相匹配的卡位裝置,就連螺絲轉幾圈都有具體規定,並且都留有細微的調整餘量。像掩模板傳送模組的精度,相比晶圓傳輸模組與雙晶圓平台模組的精度要求也不一樣,精度是可以借流程推進逐步提高的嘛。這東西內部的運作程序如何修正定位誤差,才是最終成品能運作的核心問題。”李顏說道,“這種級彆的精度本來就不可能光靠‘怎麼放置’的機械操作保證。”
梁總聽得很急,他有太多問題想問了:
“你怎麼能知道螺絲轉幾圈這種東西?”
“我拆的時候記住了。”
“就……就靠記?”範總也懵逼了。
未免太離譜了吧,爽文也不能這麼爽啊。
“當然不,螺絲拆了擰回去也有一定磨損,我畢竟徒手操作,有些地方不可能跟原來一模一樣。所以需要完全理解這台機器,明白這裡螺絲為什麼轉這麼幾圈,然後借計算機模型的輔助,確認我裝回去的時候需要轉幾圈。”
好的更離譜了。
“那你說的,程序運作……難道你直接解析了機器的內部運行係統嗎?”
“我寫了個新的。”李顏笑道。
梁總突然感覺胸口湧出一股熱血,馬上就要噴湧而出。
他幾次想說話,但是看著李顏根本問不出來,最後搖搖頭,“我……沒什麼想問的了,範總,我現在就想把它運回去,咱們測一測能不能造28nm製程的芯片。”
石磊聽得心驚肉跳,湊近李顏耳朵悄悄問:“浸潤係統你都拆了,回頭還能用嗎?”
“我又不是真的把全部零件拆乾淨……”李顏無奈,“也不是所有部件都能拆啊,石院,我這次不是一比一複刻,有些東西隻要理解他的原理,然後用自己的方式實現就可以了。”
“你之前可跟我說的全部零件都知道尺寸知道作用知道相對位置啊。”
“我當時這麼說,你都不信。我要是說我準備優化,看看人家怎麼做然後用自己方式實現,你不得直接當我放屁?”
“嗨喲,”石磊笑,“那我可不敢。”
李顏聳肩,“而且我也確實要先完全理解這台,才有可能自己搞一台。”
“可彆說了,我今天這心臟快受不了了。”
在梁總的堅持下,範總拉來了華芯國際的專業團隊,準備把李顏研究室裡的光刻機運回去搞測試。
光是怎麼把這東西安全地弄回“包裝盒”並且運上車,就搞得大家灰頭土臉。
梁總期間不斷感慨,“這他媽他說自己徒手拆裝?神仙啊?”
範總還調侃了兩句,“沒看這裡邊放了一堆小型機械?也是有輔助的。”
“我不理解,我要馬上驗證。”
“要真能用呢?”
“我把家裡的陳年好酒拿出來,再來這裡拜拜神仙。”
“李顏可是未成年。”
“我把酒澆在未來科技門前!”
這些話當然沒有當著李顏的麵說。
裝車工作搞了挺久,石磊跟汪紫留在現場跟進的。
李顏被黃書記拉出去講悄悄話了。
這種級彆的大領導說悄悄話,隻有一種可能。
傳遞一些更高級彆的信息。
“李顏,其實相比光刻機,我現在更關注另一件事。”
“流水線智造?”
“對!”黃國暉眼睛都亮了,“你有這項目,之前唐部來的時候也不說說……流水線智造,現在是到實際測試階段了?”
李顏倒是沒想到這個項目會如此受關注,“對,準備測試了,算是內測吧,找了大中小不同規模、需求也不同的一些廠家,看能不能根據他們需求完成流水線製造,成本評估也要根據這個結果調整。”
“好,很好。這個項目,你一定好好做,有什麼需要協助的,儘管提。”黃國暉笑著拍拍李顏肩膀,光是拍還不夠,甚至直接攬過去,“有事的話不用通過秘書了,直接找我,有些會議我不方便接電話的,回頭看到我一定給你回電。”
這是咋了這是?
李顏有點迷茫地感受著黃書記的熱情。
“美利堅對我們的施壓從未停過,國家一直希望我們的工業生產能儘早全麵自主化、去美化,全麵提高全產業鏈的生產水平……李顏,你踏出了我們未曾設想的一步啊。”
原來是這個啊……李顏恍然大悟。
黃書記感慨道,“李顏呐,你為什麼會想做這件事?為了光刻機嗎?”
李顏搖搖頭,“我倒是沒寄希望於借此搞定光刻機的技術支撐,隻是為被工業水平卡殼這件事感到難受,就想辦法解決了。”
“也就是說,你確實有想提升全社會工業水平的想法?”黃書記眼睛更亮了,整個人看起來都年輕了不少。
“當然,”李顏說道,“提升整個社會的工業化水平從而提高生產力,生產力提升了,社會的從業結構產生變化,解放更多創造力。這確實是我想做到的事……之一。蛟龍手機的誕生也是如此,不隻是為了賺錢,主要是想改變大家的生活。”
黃書記非常興奮,在小院子裡不斷踱步,似是下了很大決心,鄭重其事按住李顏肩膀:
“國家看到你了,李顏同誌。”
“啊?”李顏露出了非常真誠的震驚表情,“才看到啊?”