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通城,智雲微電子總部,徐申學看了第二廠,視察了當地的十二納米產線後,又去看了已經完成了廠房施工的第二十五廠。
第二十五廠,也是智雲微電子為等效七納米工藝所準備的工廠,從廠房再到設備,全部都是按照等效七納米工藝所準備的,整體投資預計會超過八十億美元,相當誇張。
“我們準備在第二十五廠裡,同時建設兩條產線,一條產線采用進口的ASML公司的NXT1980光刻機,第二產線則是采用海灣科技的HDUV600光刻機!”
“兩種光刻機的套刻精度都是二點五納米,按照我們的設計方案,都是能夠滿足等效七納米工藝的技術需求!”
“為了確保等效7納米工藝準時準點的完成技術認證,我們在第一產線上全部使用進口設備,目前所有設備都已經下單,部分已經到貨,第一台NXT1980光刻機將會在十天後到貨,所有設備將會在今年十二月份前全部到貨,明年第一季度就能夠完成設備的安裝和調試,並展開技術認證工作。”
“樂觀的話,明年第三季度就能完成技術認證,開始為量產化進行準備,但是考慮到四重曝光帶來的低良率問題,我們想要解決這個低良率問題預計也需要大量的時間。”
“想要大規模出貨的話,恐怕還要到後年的第一季度。”
“而我們的主要競爭對手台積電,按照他們公布的計劃來看,他們的進度表和我們的也類似,畢竟我們是采用同一批的光刻機進行等效七納米工藝產線的搭建,而光刻機的到貨時間我們也差不多,硬件設備處於同一時間段,具體時間表也類似。”
“至於後續誰能夠做到領先,這還需要看彼此工藝技術上的比拚,而這一領域上我們是有優勢。”
“而四星那邊也公布了八納米工藝計劃,但是根據目前的情報來看,他們的八納米工藝在技術指標上看起來應該是十納米工藝節點改進,性能提升不會很大,屬於十納米和七納米工藝之間的過渡節點,類似他們的十一納米以及我們的十二納米工藝。”
“而我們則是直接跳過了八納米工藝,直接搞七納米工藝。”
“他們的七納米工藝還要更往後一些。”
“至於英特爾的話,他們並沒有公布等效七納米工藝,而是正在推進十納米工藝的節點,不過他們的這個十納米工藝節點在技術參數上,其實比我們的等效七納米工藝還要更高一些。”
“然而技術參數更高,也意味著更難,按照我們的預估,他們估計要更晚時間才能搞出來。”
“按照目前收集的一些情報來推算他們的工藝節點研發,短期內我們在七納米工藝上的主要競爭對手,還是台積電;英特爾的十納米和四星的七納米,會比我們晚不少!”
“在等效七納米節點的競爭中,我們將會維持領先優勢!”
丁成軍對等效七納米工藝的時間表,表現出來了極大的自信,這是基於梁鬆教授為核心的工藝研發團隊來帶的自信。
“我們已經完成了四重曝光的基本理論以及工藝流程,就等著用這一批光刻機進行下一步階段的各項測試工作了。”
“等第一台NXT1980光刻機到貨後,我們就會使用這台光刻機進行前期的技術測試,驗證工作。”
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丁成軍此時,又指著第二十五廠的另外一個龐大廠房道:“這是我們第二十五廠的第二產線,基於扶持國產設備的緣故,我們的第二產線上將會儘可能采用國產設備,哪怕為此付出一些生產成本的上漲!”
“第二產線上,核心設備包括海灣科技正在研發的HDUV600型光刻機,此外還包括輔助使用的HDUV500型號光刻機以及HKRF34光刻機等,同時也包括後道光刻機,蝕刻機以及離子注入機等核心設備,隻要海灣科技有的,技術指標能夠達到要求的,我們都會使用!”
“該產線的進度表也和第一產線類似,雖然核心的HDUV600光刻機到貨會晚一些,不過問題不大,應該也能夠在後年的第二季度完成量產化。”
“隻不過該產線的生產效率要低一些,成本也會更高一些!”
“生產效率上,還需要海灣科技繼續努力了!”
徐申學一邊聽著,一邊看著手中的技術報告。
兩條等效七納米工藝的產線,一條是清一色進口,而另外一條則是國產和進口設備混搭。
其他的都還好,但是在光刻機領域還是可以看到明顯的差距。
這個時候,跟著徐申學一起過來考察的海灣科技的CEO王道林道:“我們的HDUV600型光刻機和ASML的NXT1980光刻機在核心的三大硬性指標上都是一樣的。”
“分辨率都是38納米,數值孔徑一點三五,套刻精度都是二點五納米。”
“這三大核心指標也是做等效七納米工藝的硬性指標,少一個都不行。”
“不過除了這三個核心指標外,還有一個指標上我們的HUDV600光刻機就存在一些差距了,那就是WPH,即每小時處理晶圓片的數量。”
“這個數據越大,光刻機單位時間內的產量就越大,產量越大,生產效率越高!”
“作為對比,ASML的NXT1980光刻機,其WPH是二百七十五片。”
“我們的HDUV600光刻機的WPH,設計指標差一些,隻有兩百四十五片。”
徐申學聽罷:“這差距不小啊,回頭落到生產過程裡,那麼就會導致生產成本的上漲!”
王道林道:“是有一些差距,不過這也是沒辦法的事,我們時間太緊迫了!”
“ASML的NXT1980光刻機,是基於全新研發的機台構架搞出來的,一開始的目的就是奔著更高的生產效率來的,再加上他們的技術積累更深厚,所以搞出來的NXT1980生產效率極高。”
“而我們的HUDV600型號光刻機,雖然也是采用新研發的機台構架,但是為了趕進度,采取了一些更加保守的技術應用策略,也大量使用了HDUV500/400型光刻機機台上的技術。”
“這樣的研發進度更快,才能夠在去年底拿出來樣機,然後爭取明年秋季開始出貨。”
“但是這樣也導致了HDUV600光刻機的生產效率就稍微低一些。”
王道林這個時候,也看了眼同樣關注此事的丁成軍,開口繼續道:“不過我們的HDUV600的光刻機賣的更便宜,售後服務費用更低,最終反饋到芯片成本上,雖然會有一些上漲,但是也不會漲太多,屬於可接受的範圍。”
“總歸是不會讓我們的客戶吃虧的!”
王道林的意思很明顯,那就是既然我的東西差一些,那麼我就少賺一些,讓更多的利潤給客戶,不至於因為用了他們海灣科技的光刻機,就導致成本上漲。
再說了,ASML的NXT1980光刻機是好,生產效率是高,但是普通晶圓廠也買不到啊!
連智雲微電子現在一年也拿不到多少貨,其他國內的晶圓廠就更彆提了。
所以,國內晶圓廠短期內能夠獲得這種級彆先進光刻機的途徑,隻有一家,那就是海灣科技。
ASML的NXT1980這款光刻機,目前產量很低的,還是四大晶圓廠輪流排隊拿貨。
至於其他廠商,都得往後排隊等著!
而等到明年,哪怕智雲微電子不購買這款光刻機,其他三家以及後續的聯電,格羅方德等廠商也會把訂單擠爆ASML。
ASML的先進光刻機,從不缺乏買家……
國內的其他晶圓廠想要獲得這款光刻機,可不容易!
中芯那邊就是典型例子,他們也想買ASML的NXT1980光刻機,但是買不到。
同時他們也正在積極推動十四納米工藝的研發,為此找海灣科技下單了HDUV600型光刻機,準備用這款光刻機來搞十四納米工藝。
主要是用HDUV500型光刻機,或同級彆的ASML的NXT1970光刻機搞十四納米工藝難度非常高……這幾乎達到了這種級彆光刻機的極限水平,中芯那邊搞起來太吃力了。
不是說不能搞,而是難度非常大……也不是所有晶圓廠都會和智雲、台積電、四星以及英特爾這四家晶圓廠,為了市場競爭玩命推工藝節點進度,進而極限壓榨光刻機的性能。
比如用HDUV600型光刻機或ASML1980光刻機搞等效七納米工藝(英特爾10納米)……也就這四家才打算這麼乾,其他晶圓廠可不會這麼乾的。
難度太大,成本太高,前期要是找不到充足的高價訂單,會虧到褲衩子都不剩!
而目前,也隻有這四家晶圓廠才有接到,或者本身就有這種先進工藝的訂單,並且願意給出高溢價。
其他晶圓廠,暫時幾乎不可能接到這種高溢價的頂級工藝訂單。
所以玩極限壓榨光刻機性能這種事,也不是那麼好玩的,很容易形成巨額虧損!
使用更高一檔的光刻機,然後反過來搞成熟製程,其實才是更符合商業化的選擇,難度低,成本低,效率高。
中芯那邊就是打算直接用先進一代的HDUV600光刻機來個力大飛磚,通過更先進一代的光刻機設備的強悍性能上馬十四納米工藝。
而有類似想法的,還有其他晶圓廠廠商,隻不過他們拿不到更先進光刻機的貨而已……不管是ASML還是海灣科技,這種套刻精度二點五納米級彆的先進光刻機產能都是有限的。
ASML那邊不用說,前期有限的NXT1980供不應求,除了四大廠商外,其他的都得等!
而海灣科技這邊的HUDV600型號光刻機則是還處於樣機階段,要年底才能出貨,等到明年正式出貨後產能也會非常有限。
除了供應智雲微電子外,短時間內也隻會供應另外一家戰略合作夥伴‘中芯’,其他廠商想要拿貨,也得等好久!
中芯某種程度上,也算是搭上了海灣科技發展的春風,能夠順利拿到這種級彆的先進光刻機……不出意外的話,聯電和格羅方德拿到NXT1980的時間,都會比中芯拿到HDUV600的時間更晚。
不過就算是中芯,到時候也拿不到太多的貨,海灣科技的HDUV600型光刻機,大部分還是需要供應給智雲微電子。
因為智雲微電子除了需要使用這款光刻機玩等效七納米工藝外,也需要使用這款光刻機來生產十納米工藝,乃至十四納米工藝節點的芯片。
HDUV600型光刻機,包括隔壁的ASML的NXT1980光刻機,其實從商業角度來看更適合生產1014納米工藝,至於等效7納米工藝,那是玩極限,屬於沒辦法的事。
等效七納米需要,然後等效十納米,等效十四納米這三大核心工藝節點都需要這款光刻機,因此未來這款光刻機的銷量是會非常大的。
不僅僅智雲微電子需要,中芯以及國內其他晶圓廠也會需要。
如果加上HDUV500以及HDUV400,未來樂觀估計海灣科技的DUV浸潤式光刻機,即ARFI光刻機,最近幾年的年出貨量能維持在四十台左右。
然後海灣科技的ARF光刻機,即DUV乾式光刻機目前也有一些銷量,一年也能夠賣出去十台八台的。
上述兩種深紫外光光刻機,總銷量能夠維持在五十台左右。
然後還有KRF光刻機以及Iline光刻機,這兩種光刻機,要麼是用在成熟工藝上,要麼是在先進工藝裡作為輔助光刻機使用。
海灣科技的KRF光刻機,一年也能賣個二十多台,然後Iline光刻機賣的更多一些,有個四十多台,這兩種低端光刻機主要是作為輔助光刻機用的,購買海灣科技的ARFI光刻機的話,都會配套購買KRF或ILINE光刻機。
ARFI,ARF,KRF,iline四種前道光刻機加起來,海灣科技的年出貨量是能達到一百多台的。
這一百多台的光刻機,除了i線以及k線光刻機可以出口外。
ARFI以及ARF光刻機都隻在國內出貨……受限於國外專利問題,沒辦法出口。
因此海灣科技的客戶,除了智雲集團旗下的智雲微電子外,就是國內的中芯、華力微、燕微電子等國內眾多晶圓廠了。
國內的晶圓廠也不僅僅隻有一個智雲微電子,其他的也有不少,加起來規模比較大一些的有十幾家呢,隻是之前技術都不太行,沒資金沒技術。
而海灣科技不僅僅賣設備,還提供全套的技術支持服務,從設備的安裝調試,再到量產輔助工藝。
還可以牽線搭橋幫他們獲得智雲微電子的部分成熟工藝的技術授權……